材料
反応結合SiC
高平坦度、大きな浸潤深さ、内部冷却チャンネルなど、必要に応じてカスタマイズされた、ほぼあらゆるサイズや形状のRB-SiCコンポーネントを供給します。
RB-SiCは、高耐熱性、低熱膨張係数（CTE）、化学的不活性、高強度、強度対重量比といった物理的特性のユニークな組み合わせを提供し、高電圧エレクトロニクス、半導体工具などの用途に適しています。
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反応結合SiCの特性
さまざまな機械的、熱的、電気的特性に最適化されたRB-SiC基板材料からお選びいただけます。
特性 |
SSC-702 |
SSC-802 |
SSC-902 |
SSC-HTC |
SSC-FG (微粒子SiSiC) |
HSC-702 (Si/SiC+Al) |
TSC-15 (Si/SiC+Ti) |
RBBC-751 (B4C/SiC/Si) |
SiCAM 700 |
SiCAM 800 |
SiC含有量（体積%） |
70 |
80 |
90 |
78 |
70 |
70 |
80 |
70B4C 10SiC |
70 |
80 |
Si含有量（体積%） |
30 |
20 |
10 |
22 |
30 |
30 |
20 |
20 |
30 |
20 |
かさ密度（g/cc） |
2.95 |
3.00 |
3.12 |
3.02 |
2.94 |
3.01 |
3.13 |
2.56 |
2.95 |
3.00 |
ヤング率 (GPa) [E] |
350 |
380 |
410 |
373 |
330 |
330 |
390 |
400 |
345 |
365 |
ポアソン比 |
0.18 |
0.18 |
0.18 |
0.2 |
0.18 |
0.19 |
0.19 |
0.18 |
0.185 |
0.185 |
曲げ強さ (MPa) |
270 |
280 |
280 |
265 |
350 |
275 |
225 |
280 |
280 |
290 |
破壊靱性（Mpa-m1/2） |
4 |
4 |
4 |
3.5 |
4 |
5 |
5 |
5 |
3.2 |
3.2 |
CTE（25～100°C）（ppm/K） |
2.9 |
2.9 |
2.7 |
2.9 |
3 |
4.4 |
3 |
4.8 |
3.2 |
3.1 |
熱伝導率（W/mK） |
170 |
180 |
190 |
402 |
150 |
200 |
210 |
52 |
177 |
185 |
比熱（J/kg-K） |
680 |
670 |
660 |
670 |
680 |
700 |
670 |
890 |
686 |
674 |
比剛性 (E/ρ) |
119 |
127 |
131 |
- |
112 |
109 |
125 |
156 |
117 |
122 |
熱安定性 (k/α) |
59 |
62 |
70 |
- |
50 |
45 |
70 |
11 |
55 |
60 |
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