이온 주입
이온 레이저 주입기 디스크 보수 및 코팅
Coherent 디스크 보수 및 코팅 서비스를 통해 이온 임플란트 도구의 수명을 연장하고 소유 비용을 낮추며 성능을 개선할 수 있습니다.
Coherent는 모든 이온 주입기 디스크 또는 방열판의 수리, 보수 및 재생산에 대한 광범위한 역량을 보유하고 있습니다. 여기에는 1970년대 후반부터 현재까지 생산된 배치 처리 이온 주입기의 모든 제조업체와 모델이 포함됩니다.
주요 기능
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It All Adds Up Our industry-leading innovations enable a 2x lifetime improvement, a 99% decrease in wafer chipping, a 50% decrease in metals contamination, an 80% decrease in fence “wear-grooving” particle generation, and a 30% average cost-of-ownership savings. |
High-Performance Coatings The Coherent low-temperature elastomer pedestal and heat sink coating increases wafer cooling, boosts productivity, and improves pad-to-pad wafer temperature uniformity. |
Torlon Fence Assemblies Utilize high wear resistance Torlon to dramatically improve fence and disk lifetime, substantially decrease wafer chipping, cut fence wear-grooving, and lower metals contamination. |
 펜스 디자인 개선 Coherent 고정밀 나사식 베어링 펜스 설계로 수명이 길고 비대칭 펜스 마모가 없으며 OEM 압착 위치 부품에서 발생하는 파티클 트랩을 제거합니다. |
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주요 성공 사례
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