Ionenimplantation
Sanierung und Beschichtung von Ionenimplantationsplatten
Unser Sanierungs- und Beschichtungsservice sorgt für eine längere Lebensdauer, geringere Betriebskosten und eine bessere Leistung von Ionenimplantations-Werkzeugen.
Coherent verfügt über umfangreiche Kapazitäten für die Reparatur, Sanierung und Wiederherstellung aller Ionenimplantationsplatten oder Kühlkörper. Dazu gehören alle Marken und Modelle von Batch-Verarbeitungszeiten von Ionenimplantern, die seit den späten 1970er Jahren bis heute hergestellt wurden.
Schlüsselfähigkeiten
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It All Adds Up Our industry-leading innovations enable a 2x lifetime improvement, a 99% decrease in wafer chipping, a 50% decrease in metals contamination, an 80% decrease in fence “wear-grooving” particle generation, and a 30% average cost-of-ownership savings. |
High-Performance Coatings The Coherent low-temperature elastomer pedestal and heat sink coating increases wafer cooling, boosts productivity, and improves pad-to-pad wafer temperature uniformity. |
Torlon Fence Assemblies Utilize high wear resistance Torlon to dramatically improve fence and disk lifetime, substantially decrease wafer chipping, cut fence wear-grooving, and lower metals contamination. |
 Verbessertes Anschlagdesign Der einschraubbare Lageranschlag mit seinem hochpräzisen Design sorgt für eine längere Lebensdauer, bietet keinen asymmetrischen Anschlagverschleiß und eliminiert die Partikelfalle, die bei OEM-Komponenten mit gecrimpter Position auftritt. |
