Ionenimplantation

Ionenimplantation Foundry-Dienstleistungen

Ion Implantation Foundry Services

Verlassen Sie sich auf Coherent als Full-Service-Partner, um Ihre Anforderungen der Ionenimplantation zu erfüllen. Wir bieten zuverlässige Unterstützung für jedes Volumen, jede Anwendung und ermöglichen es, Nachfragespitzen zu bewältigen.

Die erstklassigen Ionenimplantation-Foundries von Coherent können alle Arten von Implantationsanforderungen erfüllen: von Produktionsmengen von 300-mm-Wafern bis hin zu Forschung und Entwicklung für kleinere Wafergrößen und Chips sowie beheizte Implantationen auf Verbindungs-Halbleitersubstraten.

Schlüsselkompetenzen

Datenblätter

Unübertroffene Erfahrung

Mit seinem hocherfahrenen Anwendungsteam in der Branche bietet Coherent die schnellsten und kostengünstigsten Methoden für die Ionenimplantation, um den Kundenerfolg zu optimieren:

  • Silizium- und Verbindungs-Halbleitersubstrate
  • Beheizte und Raumtemperatur-Implantate
  • Forschung und Entwicklung
  • Modellierung von Implantaten und Prozessanpassung
  • Kleine Wafergrößen

Zuverlässiger Partner

Mit Coherent als Ihr Partner für Implantate können Sie:

  • von expandierenden oder sich verändernden Märkten profitieren
  • Ionenimplantationen nach ungeplanten Systemausfällen wiederherstellen
  • einige bzw. alle Prozessschritte bei der Ionenimplantation auslagern
  • Unterstützung innerhalb von 48 Stunden erhalten

Umfangreiche Materialien

  • Silizium
  • GaAs/InP
  • SiC
  • GaN
  • Diamant
  • LiNbO3/LiTaO3
  • InSb
  • ZnSe
  • SiO2/Si